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(서울=NSP통신 이수정 기자) = 테스(095610)는 인젝터 모듈 및 이를 사용하는 플라즈마 반응 장치 관련 특허권을 취득했다고 밝혔다.

회사측은 21일 공시를 통해"챔버 내부로 유입되는 공정 가스가 원하지 않는 곳으로 유동하는 것이 저지되어, 균일한 박막 형성과 공정 가스의 불필요한 소모를 줄일 수 있다."고 설명했다.

endorphin@nspna.com, 이수정 기자(NSP통신)
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