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(서울=NSP통신 이수정 기자) = 테스(095610)는 플라즈마 발생장치 및 이를 포함하는 박막증착장치 관련 특허권을 취득했다고 밝혔다.

회사측은 8일 공시를 통해"플라즈마를 공급함으로써 처리될 기판의 대면적화가 용이하며, 효과적인 박막증착을 수행할 수 있다."고 설명했다.

endorphin@nspna.com, 이수정 기자(NSP통신)
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