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(서울=NSP통신 이수정 기자) = 테스(095610)는 박막증착장치에 관한 특허권을 취득했다고 밝혔다.

회사측은 5일 공시를 통해 “해당 특허를 통해 기판 처리량을 향상시킬 수 있고 하나의 장치로 기판의 인입·인출을 수행해 설치면적을 줄일 수 있다”고 설명했다.

endorphin@nspna.com, 이수정 기자(NSP통신)
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