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(서울=NSP통신 이수정 기자) = 테스(095610)는 26일 박막 증착장치 특허를 취득했다고 공시했다.

회사측은 “기판 표면에 증착이 균일하게 이뤄지도록 하며, 리모트플라즈마 방식으로 제공해 기판의 손상을 방지하면서 우수한 품질의 박막을 제공할 수 있다”고 밝혔다.

endorphin@nspna.com, 이수정 기자(NSP통신)
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