(서울=NSP통신 이수정 기자) = 테스(095610)는 박막 증착장치 관련 특허권을 취득했다고 17일 공시했다.회사 측은 “이번 특허는 기판 표면에 증착을 균일하기 이뤄지도록 하는 것”이라고 밝혔다.
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