[서울=NSP통신] 이수정 기자 = 원익IPS(030530)는 박막증착장치에 대한 특허권을 취득했다고 26일 공시했다.회사측은"특허를 반도체 장비의 경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 밝혔다.
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