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[서울=NSP통신] 이상철 기자 = 로체시스템즈는 2일 FOSB 오토 로딩 시스템에 관한 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 반도체 웨이퍼를 적재하여 수송하는 FOSB로부터 커버를 탈착한 후 상기 커버가 탈착된 FOSB를 메인 스토커의 로딩 위치에 안착시킬 수 있는 기술로서, 앞으로 반도체 장치에 적용될 예정이다“고 밝혔다.

이상철 NSP통신 기자, lee21@nspna.com
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